ガスコントロール（F1）
ステータス
ここに表示される値は、機器のガスの現在のステータスです。以下に示す 6 つのインジケータがあります。
位置 1 = 終了/実行。手順が実行されていないときは「終了」。プロセス中は「実行」。
位置 2 = 実行状態。（一般に待機またはビジー。）
位置 3 = 手順ステップ番号。（デバッグ用。）
位置 4 = 手順名。（例：排気、すべてオフ、など。）
位置 5 = ステップの残り秒数、または待ち秒数。
位置 6 = 現在のステップまたは手順にかかる時間。
ガス流量
ガス流量をモニタおよびコントロールするには、チューニングファイルを読み込んだ状態で、以下をクリックします：［メソッド］ > ［機器の設定］ > ［MSD］ > ［マニュアルチューニング］ > ［ガスコントロール］。［ガスコントロール］ウィンドウが開きます。ここから、ガスを流したり、ガスのパージ、ガスの排気を行ったり、機器につながるすべてのバルブを閉じたりできます。
- チューニングコントロールを要求し、［マニュアルチューニング］ > ［ガスコントロール］を選択します。
- ガスを機器に導入するには、［ガスの量］（A: またはB:）をクリックし、［適用］をクリックします。［ガスコントロール］ウィンドウまたは［MSD］詳細ウィンドウでステータスを確認できます。
- ガスをパージするには、［パージガス］（A または B）をクリックし、［適用］をクリックします。
- 流量をオフにするには、［排気］をクリックし、［適用］をクリックします。これが完了すると、フローコントローラが閉じますが、シャットオフバルブは通常開いたまま排気を継続します。
- すべてのバルブを閉じるには、［フローなし、すべてのバルブを閉じる］をクリックし、［適用］をクリックします。
- チューニングコントロールの解放します。