冷却ファンで問題が発生すると、真空制御電子部品は高真空ポンプを自動的にシャットオフします。そのため、「The system is in vent state (high vacuum pump off) （システムがベント状態になっています（高真空ポンプがオフになっています））」というメッセージも表示される場合があります。このメッセージで重要なのは、高真空ポンプがオフになっているという部分です。真空マニフォールドは実際には真空にされない可能性があります。
上部と下部のMSDカバーを取り外します。
警告！他のカバーは取り外さないでください。高電圧が発生しています。
高真空ポンプのファンを調べます。ポンプによってMSDに空気が吸引されていることを確認します。
高真空ポンプのファンが作動していない場合は、ワイアを調べます。ワイアがしっかり接続されていることを確認します。ファンが正しく接続されているが正しく作動しない場合は、ファンを交換します。高真空ポンプのファンを交換する方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。
エレクトロニクスモジュールのファンを調べます(エレクトロニクスモジュールから空気が排出されていることを確認します)。
警告！エレクトロニクスモジュールは開かないでください。モジュール内で高電圧が発生しています。エレクトロニクスモジュールのファンが作動していない場合は、Agilent Technologiesのサービス担当者にお問い合わせください。
弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。