レンズサプライに問題がある

アナライザでショートが発生しています。

1. MSD を大気解放します。

2. 真空マニフォールドを開きます。

3. イオン源でセラミックのフィードスルーボードとレンズの間のワイアを調べます。ワイアがグラウンドにショートされていないことを確認します。

MSDを大気解放する方法と真空マニフォールドを開く方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。

MSD 電子機器が正しく動作しない

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