このメッセージは、加熱ゾーンのどれか 1 つの温度上昇が本来の速度より遅い、または加熱ゾーンが時間内に設定値に達することができなかったことを意味します。考えられる原因は次のとおりです。
MSD を大気解放します。
真空マニフォールドを開きます。
注意！真空マニフォールドを開く際は必ず、静電気放電(ESD)に注意してください。マスフィルタ(四重極)の接点付近で作業する場合は特に注意が必要です。これらの接点は、サイドボード上の影響を受けやすい部品に有害な静電気放電を発する可能性があります。
イオン源ヒーターとマスフィルターヒーター両方のヒーターの配線を調べてください。ヒーターの配線がフィードスルーボード上の正しいピンにしっかり接続されていることを確認します。
ヒーターの配線が正しく接続されていると思われる場合は、ヒーター自体を調べて、ヒーターが故障していないか確認します。
MSDを大気解放する方法と真空マニフォールドを開く方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。
MSD を大気解放します。
真空マニフォールドを開きます。
注意！真空マニフォールドを開く際は必ず、静電気放電(ESD)に注意してください。マスフィルタ(四重極)の接点付近で作業する場合は特に注意が必要です。これらの接点は、サイドボード上の影響を受けやすい部品に有害な静電気放電を発する可能性があります。
ヒーターの配線をフィードスルーボードから外します。各ヒーターに対して、オーム計を使ってヒーターの導通チェックを行います。オーム計でヒーターの回路が切れていることが示された場合は（抵抗が無限大のまま）、ヒーターアセンブリを交換します。
MSDを大気解放する方法、真空マニフォールドを開く方法、ヒーターアセンブリを交換する方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。
温度センサーがしっかり接続されていないと、温度が加熱ゾーンの実際の温度よりも低く表示されます。その結果、温度コントロールを行う電子機器がヒーターカートリッジを駆動させ続け、そのゾーンが過熱状態になってしまいます。センサーが緩みすぎていると、温度が非常にゆっくり上昇したり、加熱部が設定値まで到達できなかったりして、タイムアウトエラーが発生します。
MSD を大気解放します。
真空マニフォールドを開きます。
イオン源温度センサーをチェックします。しっかり接続されていることを確認します。
注意！真空マニフォールドを開く際は必ず、静電気放電(ESD)に注意してください。マスフィルタ(四重極)の接点付近で作業する場合は特に注意が必要です。これらの接点は、サイドボード上の影響を受けやすい部品に有害な静電気放電を発する可能性があります。
マスフィルター源温度センサーをチェックします。しっかり接続されていることを確認します。
MSDを大気解放する方法と真空マニフォールドを開く方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。