高真空ポンプの準備が整っていない

Diffusion pump is on but has not had enough time to reach normal operating temperature （ディフュージョンポンプがオンになっているのに、正常なオペレーション温度に達するまでに十分な時間がありませんでした）

通常であれば、ディフュージョンポンプが正常なオペレーション温度に達するまでに 10 ～ 15 分かかります。以下のような状況が発生すると、これがもう少し長くなる場合があります。

• 実験室の温度が通常より低い

• ディフュージョンポンプのオイルレベルが特に高い

• フォアラインポンプが平常どおりに動作していない

• カラム流量が通常より高い

Turbomolecular pump is on but has not had enough time to reach 80% of its normal operating speed （ターボ分子ポンプがオンになっているのに、正常な動作速度の 80% に達するまでに十分な時間がありませんでした）

通常であれば、ターボ分子ポンプが正常な動作速度の 80 % に達するまでに 5 ～ 10 分かかります。以下のような状況が発生すると、これがもう少し長くなる場合があります。

• フォアラインポンプが平常どおりに動作していない

• カラム流量が通常より高い

Foreline pump is not working correctly (フォアラインポンプが正しく作動していません)

フォアラインポンプを交換するか、または 弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。

Level of fluid in the diffusion pump is too high （ディフュージョンポンプのオイルレベルが高すぎます）

ディフュージョンポンプのオイルレベルが高すぎると、それによって真空排気が遅くなったり、ディフュージョンポンプの正常なオペレーション温度に達するのが遅くなる場合があります。液のレベルを調べてください。ディフュージョンポンプのオイルレベルをチェックする操作方法については、MSD メンテナンスマニュアルを参照してください。

Diffusion pump stack is not aligned correctly （ディフュージョンポンプのスタックがきちんと揃っていません）

ディフュージョンポンプのスタック内のコンポーネントがきちんと揃っていないと、それによってディフュージョンポンプの正常なオペレーション温度に達するのが遅くなる場合があります。スタックは通常のメンテナンスでは外さないので、この現象が起こるのは極めてまれです。

Diffusion pump heater has failed （ディフュージョンポンプのヒーターが故障しています）

弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。

Turbomolecular pump is not working correctly （ターボ分子ポンプが正しく作動していません）

弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。

MSD 電子機器が正しく動作しない

弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。