コントロールパネルで、機器を選択し、［切断］をクリックします。
通信を回復できない場合は、以下を行ないます。
ディフュージョンポンプを使用している MSD の場合、高真空シグナルケーブルを MSD の背面パネルから取り外し、15 分間待ちます。これにより、ディフュージョンポンプがシャットオフされ、フォアラインポンプを作動したまま、ディフュージョンポンプを冷却することができます。
MSD 電源スイッチを切ります（すべての MSD）。
警告！水素キャリアガスを使用している場合、すべての加熱部を冷却し、キャリアガスをシャットオフします。
ソフトウェアをリスタートします。
MSD をオンにし、通常の真空排気を行ないます。真空排気により MSD とデータシステムの間の通信が回復されます。