1.13 オクタポール RF ドライバが要求された RF ピーク電圧を維持できません。

考えられる原因

  • オクタポール PCA のオクタポール RF が調整されていない

  • マニホールドでのショート

  • メインボード不良

処置

  • オクタポールアセンブリを取り外したりクリーニングしたりした場合は、ケーブルがすべて正しく接続されていることを確認してください。

  • ロッドとケーブルを確認してください。

  • このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。

関連項目

エラーメッセージ

機器のチューニング