機器がまだ真空排気中であり、ターボパワーが 95% 以上に到達していない
真空システムにリークがある
ターボポンプのシャットダウンにつながるようなエラーがある
マニホールド内部の作業が行った場合、またはメンテナンスを実施した場合、真空システムの準備がまだ完了していない可能性があります。
システムが真空排気を完了し、ターボパワーが 95% 以上になるまで待ってください。
リークを探して直してください。
真空のベントまたは故障の原因となったエラーを解決してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。