1.28 マルチモードイオン源コントローラのセンサーがエラーを検知しました。

考えられる原因

• マルチモード（MMI） PCA の不良

• マルチモード（MMI）イオン源の問題

処置

• スプレーチャンバーエリアにおける、マルチモードイオン源のすべての接続を確認してください。

• このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。

関連項目

エラーメッセージ

機器のチューニング