ファン不良
高真空エリアの作業を行なった場合は、システムが正しく接続されていることを確認してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。
エラーメッセージ
機器のチューニング