2.17 イオン源室が開いています。

考えられる原因

  • イオン源室が開いている

  • イオン源センサーの不良

処置

  • イオン源室を閉じます。

  • センサーを調整または交換してください。

  • このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。

関連項目

エラーメッセージ

機器のチューニング