2.21 ターボポンプが一定時間内に適切な速度に到達しません。この状態を解消するには、ベントして電源を入れなおしてください。

考えられる原因

• 真空リーク

• ターボポンプエラー

処置

• 真空リークを確認し、直してください。

• このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。

関連項目

エラーメッセージ

機器のチューニング