ガス供給が妨害されている、または圧力不足
リークまたはフィルターの目詰まり
ドライガス流量モジュールの不良
キャリアボードの不良
ドライガス供給圧力が 80 psi から 100 psi の間にあることを確認してください。
フィルターを交換するか、一時的にバイパスします。
N2 フィルターを毎年交換していない場合は、ドライガスの供給圧力を 110 psi 以上に上げます。
すべてのガス接続にリークがないか確認します。
低い流量設定でドライガスが設定どおりに流れても、高い流量設定では流れない場合、ガス供給ラインに詰まりやねじれがないかを確認します。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、Agilent 窓口にお問い合わせください。