A contaminação do óleo da bomba mecânica é caracterizada por picos espaçados por 14 m/z entre si (hidrocarbonetos). A contaminação com óleo da bomba mecânica é menos comum que a contaminação com fluido da bomba difusora, mas pode ocorrer se a bomba mecânica operar por um tempo prolongado com a bomba difusora desligada e sem fluxo de gás portador para o sistema.