Obstrução ou falta de pressão no suprimento de gás
Filtro com vazamento ou bloqueado
Problema no módulo de fluxo de gás
Problema na carrier board
Verifique se a pressão de suprimento de gás está entre 80 psi e 100 psi.
Substitua ou ignore temporariamente qualquer filtro.
Aumente a pressão de suprimento de gás para >110 psi se o filtro de N2 não for substituído anualmente.
Verifique se há vazamentos em todas as conexões de gás
Se o Fluxo de Gás funcionar em uma configuração de fluxo baixo, mas não em uma configuração de fluxo alto, procure uma obstrução ou limitação no suprimento de gás.
Se esse erro seguir ocorrendo, copiar esse erro na tela e contatar a Agilent para mais informações.