温度传感器故障

此故障不可能导致出现温度区超时消息。通常,出现故障的传感器会导致 MS 状态出现以下消息:

但是,如果看到超时消息并查找了所有其他可能的原因,则请检查传感器是否可能出现故障。

源温度传感器打开

  1. 放空 MSD。

  2. 打开歧管真空系统。

  3. 检查离子源配线。请确保离子源温度传感器的配线已连接到馈通板上。

  4. 如果配线连接正确但传感器仍不工作,则更换源加热器组件(加热器、传感器和加热块)。

有关放空 MSD、打开歧管真空系统和更换源加热器组件的说明,请参见 MSD 维护文档。

源温度传感器短路

  1. 放空 MSD。

  2. 打开歧管真空系统。

  3. 检查离子源配线。尝试确定传感器配线是否与地面短路。

  4. 如果配线看上去没问题,但传感器仍不工作,则更换源加热器组件(加热器、传感器和加热块)。

有关放空 MSD、打开歧管真空系统和更换源加热器组件的说明,请参见 MSD 维护文档。

质量过滤器(四极杆)温度传感器打开

  1. 放空 MSD。

  2. 打开歧管真空系统。

    警示!只要打开歧管真空系统,特别是在质量过滤器(四极杆)接点附近操作时,请务必小心静电放电 (ESD)。这些接点会将有害的静电放电传递到侧板上的敏感组件。

  1. 检查质量过滤器(四极杆)传感器的配线。请确保传感器的配线已连接到馈通板上。

  2. 如果配线连接正确但传感器仍不工作,则更换质量过滤器加热器组件(加热器、传感器和加热块)。

有关放空 MSD、打开歧管真空系统和更换质量过滤器加热器组件的说明,请参见 MSD 维护文档。

质量过滤器(四极杆)温度传感器短路

  1. 放空 MSD。

  2. 打开歧管真空系统。

    警示!只要打开歧管真空系统,特别是在质量过滤器(四极杆)接点附近操作时,请务必小心静电放电 (ESD)。这些接点会将有害的静电放电传递到侧板上的敏感组件。

  1. 检查质量过滤器(四极杆)传感器的配线。尝试确定传感器配线是否与地面短路。

  2. 如果配线看上去没问题,但传感器仍不工作,则更换质量过滤器加热器组件(加热器、传感器和加热块)。

有关放空 MSD、打开歧管真空系统和更换质量过滤器加热器组件的说明,请参见 MSD 维护文档。