如果前级泵工作不正常，则它会阻止涡轮分子泵达到其正常的运转速度。在装配了涡轮分子泵的 MSD 上不测量前级压力。另请参见前级压力过高。
检查 MSD 的后部。请确保高真空信号电缆 (HIVAC SIGNAL) 已牢固地连接到 MSD 的后面板和涡轮分子泵的控制器。
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