1.19 仪器无法在指定的时间内获得正确的低真空。需要进行放空和重启电源来解决此问题。
可能的原因
真空系统中存在严重泄漏
粗泵内没有油
油雾过滤器中装满了油
粗泵故障
建议的操作
检查粗泵电源是否接通。
检查粗泵油位和镇流器。
检查是否存在泄漏（使用隔垫挡住毛细管）。
检查所有真空夹具和软管。
检查其他真空密封，例如顶部板。
为粗泵注油。
更换油雾过滤器。
更换粗泵。
如果继续出现该问题，请复制屏幕上的该错误，并与 Agilent 联系以寻求进一步帮助。
另请参见
真空系统中存在严重泄漏
粗泵内没有油
油雾过滤器中装满了油
粗泵故障
检查粗泵电源是否接通。
检查粗泵油位和镇流器。
检查是否存在泄漏（使用隔垫挡住毛细管）。
检查所有真空夹具和软管。
检查其他真空密封，例如顶部板。
为粗泵注油。
更换油雾过滤器。
更换粗泵。
如果继续出现该问题，请复制屏幕上的该错误，并与 Agilent 联系以寻求进一步帮助。