干燥气流量设置的是氮气干燥气体的流速（以 L/min 为单位）。所需流速取决于分析的类型（电喷雾、APCI/APPI 或 MM-ES+APCI）、LC 流速和干燥气温度。通常，APCI/APPI 模式需要较少的干燥气，因为 APCI 蒸发室的加热器执行大量的干燥功能。
| 最小值 | 最大值 | 常用值 |
|---|---|---|
| 0* L/min | 13 L/min | API-ES 10 L/min APCI/APPI 5 L/min MM-ES+APCI 5 L/min AJS-ES 10 L/min HPLC-Chip 3 L/min |
*只要 LC/MS 或 CE/MS 处于真空，即需要最小 3 L/min 的干燥气流量以维持雾化室中的正压力。流量较低或无流量将导致未过滤的空气流入雾化室和真空系统。
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