真空系统中存在严重泄漏
粗泵内没有油
油雾过滤器中装满了油
粗泵故障
检查粗泵电源是否接通。
检查粗泵油位和镇流器。
检查是否存在泄漏（使用隔垫挡住毛细管）。
检查所有真空夹具和软管。
检查其他真空密封，例如顶部板。
为粗泵注油。
更换油雾过滤器。
更换粗泵。
如果继续出现该问题，请复制屏幕上的该错误，并与 Agilent 联系以寻求进一步帮助。
错误信息
调谐仪器