气体供给受阻或压力不足
过滤器泄漏或堵塞
干燥气流量模块故障
主板故障
检查气体供给压力是否在 80 psi 至 100 psi 之间。
更换或暂时绕过过滤器。
如果未每年更换 N2 过滤器,则将供气压力提高到 >110 psi。
检查所有气体连接处是否存在泄漏
如果干燥气流量低,请检查气体供给是否受阻或存在限制。
如果继续出现该问题,请复制屏幕上的该错误,并与 Agilent 联系以寻求进一步帮助。