［開始フロー (%)］ - 機器を流れる試薬ガスの初期の % です。機器は、この % から終了 % までの質量比を調査します。質量比は、調査範囲全体ですべての % ポイントの変化に対してプロットされます。デフォルト値は、現在のチューニングファイルに入力されたガス流量 % より 5% 少ない値に設定されます。
終了フロー（%） - 機器を流れる試薬ガスの最終的な % です。機器は、開始 % からこの % までの質量比を調査します。質量比は、調査範囲全体ですべての % ポイントの変化に対してプロットされます。デフォルト値は、現在のチューニングファイルに入力されたガス流量 % より 5% 多い値に設定されます。
［比（質量 X vs 質量 Y）］ - 機器コンフィグレーションに対するターゲット質量比です。デフォルト値は、現在のチューニングファイルに入力された値で設定されます。
開始/停止 – ［開始フロー（%）］で調査を開始する、または、現在の流量 % で調査を終了します。
［フロー調査データ取り込み］ - 調査中、このエリアには［開始フロー (%)］から［終了フロー (%)］の範囲内のすべての % での質量比のプロットが表示されます。プロットに沿ってカーソルを移動すると、希望の流量を指定できます。
CI 流量 - プロット内で、カーソルで指定された流量を表示します。
比 - プロット内で、カーソルで指定された質量比を表示します。
適用 – 選択した試薬ガス流量 % 値を現在のチューニングファイルに入力します。