フォアラインポンプのオイルによる汚染は、14 m/z (炭化水素)ごとにピークが出ることが特徴です。このタイプの汚染は、ディフュージョンポンプのオイルによる汚染ほど発生頻度は高くありませんが、ディフュージョンポンプをオフにし、キャリアガスをシステムに流入しない状態でフォアラインポンプを長時間使用すると発生する可能性があります。