空気の取り入れ口がふさがっていると、ディフュージョンポンプがファンで効率的に冷却されなくなる可能性があります。
上部と下部のMSDカバーを取り外します。
警告！他のカバーは取り外さないでください。高電圧が発生しています。
下部のMSDカバーの前面にある空気取り入れ口を調べます。取り入れ口がふさがっていないことを確認します。
ファン上部の安全グリルを調べます。安全グリルがふさがっていないことを確認します。
警告！MSD の電源が入ったステータスでファンの安全グリルを取り外さないでください。
MSD カバーを取り外す方法については、MSD メンテナンスマニュアルを参照してください。
設置環境の温度を調べます。温度が高すぎる場合は、ファンがディフュージョンポンプを冷却できない可能性があります。
ディフュージョンポンプオイルのレベルが低いと、ポンプは正しく作動しません。液のレベルを調べてください。必要に応じて、ディフュージョンポンプオイルを交換します。
ディフュージョンポンプオイルをチェックし交換する方法については、MSD メンテナンスマニュアルを参照してください。
MSDの背面を調べます。高真空シグナルケーブル(HI-VAC SIGNAL)がMSDの背面パネルにしっかりと接続されていることを確認します。
警告！ディフュージョンポンプは動作時に非常に高温になります。高真空シグナルケーブルとディフュージョンポンプの接続ステータスを調べる前に、必ずMSDの電源を切り、ディフュージョンポンプを十分に冷却してください。
弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。
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