温度コントロールに問題がある

これは、イオン源またはマスフィルタ (RF コイル) ヒータのどちらかで温度制御に不具合が生じたことを意味します。MSD ステータスをチェックします。エラーの原因として、以下のメッセージのうち1つが表示されます。

Source temperature sensor is open (ソース温度センサが断線しています)

1. MSD を大気解放します。

2. 真空マニフォールドを開きます。

3. ソースの配線を調べます。ソースの温度センサーの配線がフィードスルーボードに接続されていることを確認します。

4. 配線が正しく接続されているにもかかわらず、センサが依然として作動しない場合は、ソースヒータ部品(ヒータ、センサ、ヒータブロック)を交換します。

MSDを大気解放する方法、真空マニフォールドを開く方法、ソースヒータ部品を交換する方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。

Source temperature sensor is shorted (ソース温度センサがショートしています)

1. MSD を大気解放します。

2. 真空マニフォールドを開きます。

3. ソースの配線を調べます。センサの配線がグラウンド面にショートされているかどうかを調べます。

4. 配線が正しく接続されているにもかかわらず、センサが依然として作動しない場合は、ソースヒータ部品(ヒータ、センサ、ヒータブロック)を交換します。

MSDを大気解放する方法、真空マニフォールドを開く方法、ソースヒータ部品を交換する方法については、MSDメンテナンスマニュアルを参照してください。

Mass filter (quad) temperature sensor is open (マスフィルタ(四重極)の温度センサが開いています)

1. MSD を大気解放します。

2. 真空マニフォールドを開きます。

   注意！真空マニフォールドを開く際は必ず、静電気放電(ESD)に注意してください。マスフィルタ(四重極)の接点付近で作業する場合は特に注意が必要です。これらの接点は、サイドボード上の影響を受けやすい部品に有害な静電気放電を発する可能性があります。

3. マスフィルター（四重極）センサーの配線を調べます。センサーのワイアがフィードスルーボードに接続されていることを確認します。

4. 配線が正しく接続されているにもかかわらず、センサーが依然として作動しない場合は、マスフィルターのヒーター部品（ヒーター、センサー、ヒーターブロック）を交換します。

MSD を大気解放する方法、真空マニフォールドを開く方法、マスフィルターのヒーター部品を交換する方法については、MSD メンテナンスマニュアルを参照してください。

Mass filter (quad) temperature sensor is shorted （マスフィルター（四重極）の温度センサーがショートしています）

1. MSD を大気解放します。

2. 真空マニフォールドを開きます。

   注意！真空マニフォールドを開く際は必ず、静電気放電(ESD)に注意してください。マスフィルタ(四重極)の接点付近で作業する場合は特に注意が必要です。これらの接点は、サイドボード上の影響を受けやすい部品に有害な静電気放電を発する可能性があります。

3. マスフィルター（四重極）センサーの配線を調べます。センサの配線がグラウンド面にショートされているかどうかを調べます。

4. 配線が正しく接続されているにもかかわらず、センサが依然として作動しない場合は、マスフィルタのヒータ部品(ヒータ、センサ、ヒータブロック)を交換します。

MSD を大気解放する方法、真空マニフォールドを開く方法、マスフィルターのヒーター部品を交換する方法については、MSD メンテナンスマニュアルを参照してください。

No heater voltage （ヒーターの電圧がありません）

これは、ACボードとメインボードのいずれかのヒューズが飛んだことを意味します。ヒータヒューズの保守はユーザが行うことはできません。弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。

Heater voltage is too low (ヒータの電圧が低すぎます)

これは、エレクトロニクスモジュールの変圧器が正しくコンフィグレーションされていないことを意味します。この変圧器の保守はユーザが行うことはできません。弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。

温度ゾーンがタイムアウトしました

MSD 電子機器が正しく動作しない

弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。