メンテナンス（F1）

作業内容

• MS のベントと真空排気
• アナライザの焼き出し
• キャリブレーションバルブのパージ

サービス手順

• RFPA 調整
• RFPA ドリフト
• RFPA 範囲
• ログアンプ
• 起動時温度設定
• フォルトステータス