1.23 真空システムの準備が完了していません。これは、真空排気サイクル中や、ベントサイクル中に高真空ポンプが停止した場合、またはエラー状態の場合に発生します。

考えられる原因

機器がまだ真空排気中であり、ターボパワーが 95% 以上に到達していない

真空システムにリークがある

ターボポンプのシャットダウンにつながるようなエラーがある

マニホールド内部の作業が行った場合、またはメンテナンスを実施した場合、真空システムの準備がまだ完了していない可能性があります。

システムが真空排気を完了し、ターボパワーが 95% 以上になるまで待ってください。

リークを探して直してください。

真空のベントまたは故障の原因となったエラーを解決してください。

このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。