1.28 マルチモードイオン源コントローラのセンサーがエラーを検知しました。
考えられる原因
マルチモード（MMI） PCA の不良
マルチモード（MMI）イオン源の問題
処置
スプレーチャンバーエリアにおける、マルチモードイオン源のすべての接続を確認してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。
関連項目
マルチモード（MMI） PCA の不良
マルチモード（MMI）イオン源の問題
スプレーチャンバーエリアにおける、マルチモードイオン源のすべての接続を確認してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。