1.29 高真空ポンプのファンにエラーが発生しました。
考えられる原因
ファン不良
処置
高真空エリアの作業を行なった場合は、システムが正しく接続されていることを確認してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。
関連項目
ファン不良
高真空エリアの作業を行なった場合は、システムが正しく接続されていることを確認してください。
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