2.17 イオン源室が開いています。
考えられる原因
イオン源室が開いている
イオン源センサーの不良
処置
イオン源室を閉じます。
センサーを調整または交換してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。
関連項目
イオン源室が開いている
イオン源センサーの不良
イオン源室を閉じます。
センサーを調整または交換してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。