2.21 ターボポンプが一定時間内に適切な速度に到達しません。この状態を解消するには、ベントして電源を入れなおしてください。
考えられる原因
真空リーク
ターボポンプエラー
処置
真空リークを確認し、直してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。
関連項目
真空リーク
ターボポンプエラー
真空リークを確認し、直してください。
このエラーが継続して発生する場合は、画面のエラーをコピーし、アジレント窓口にお問い合わせください。