［機器ステータス］ウィンドウの SQ デバイスペインで、アイコンにカーソルを合わせると、そのデバイスのすべての EMF（Early Maintenance Feedback）メッセージが表示されます。たとえば、チェックチューニングやオートチューニングが期限切れになった場合に、それをレポートすることができます。［メンテナンス］ダイアログボックスを表示するには、デバイスペインを右クリックし、［メンテナンス］をクリックします。
このダイアログでリミットを設定し、それを超えた場合に EMF サービス期限メッセージを表示できます。このメッセージはログブックに追加されます。
特定の EMF 項目のセクションを展開したり折りたたんだりできます。セクションが折りたたまれている場合、進捗バーだけが表示されるか、または空のセクションが表示されます。セクションを展開したり折りたたんだりするには、セクションの左側にある三角形をクリックします。
特定の EMF 項目を有効または無効にすることができます。
EMF 項目を無効にすると、そのセクションのパラメータはグレー表示され、進捗バーは非表示になります。ただし、カウンターは、項目が無効になっているかどうかに関係なく動作します。無効になっている EMF 項目には、デバイスパネルに警告が表示されません。
その項目の［EMF］を有効にした場合、（該当する場合には）［EMF］の警告がデバイスパネルに表示され、それがシステムログブックに記録されます。その項目のスレッショルド値を編集したり、カウンターをリセットしたりできます。進捗バーには警告スレッショルド値を示す 1 ポンの縦線が表示され、設定したスレッショルド値に対する状況が示されます。
EMF 項目 | 説明 | 表示される EMF メッセージ |
|---|---|---|
オートチューニング | 測定ソフトウェアは、前回のオートチューニングがいつ実行されたかを追跡しています。毎日、値が 1 ずつ減っていきます。スレッショルド値が 0 になると、EMF のフラグが立ちます。 アラートスレッショルドを超えるまでの残り日数が 3 日未満になると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを超えると、バーの色が赤に変わり、サービス期限メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを警告スレッショルドより小さくした場合、警告スレッショルドの縦線は表示されなくなります。オートチューニングは常に警告状態になります。 ［期限］の値は、アラートスレッショルドに達する日付です。このメッセージは、アラートスレッショルドに達すると［期限切れ］に変わります。オートチューニングが問題なく完了すると、日付がリセットされます。 デフォルトとは異なる値を設定するには、［アラートスレッショルド（日）］フィールドに、EMF サービス期限メッセージが表示されるまでのリミット（単位：日、1～365）を入力し、［カスタム値に設定］をクリックします。 ［工場出荷時の値に設定］をクリックすると、アラートスレッショルドが工場出荷時の値（31 日）に設定されます。 | オートチューニングの期限切れ 解決するには、以下の手順を実行します。
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チェックチューニング | 測定ソフトウェアは、前回のチェックチューニングがいつ実行されたかを追跡しています。毎日、値が 1 ずつ減っていきます。スレッショルド値が 0 になると、EMF のフラグが立ちます。 アラートスレッショルドを超えるまでの残り日数が 1 日未満になると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを超えると、バーの色が赤に変わり、サービス期限メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを警告スレッショルドより小さくした場合、警告スレッショルドの縦線は表示されなくなります。チェックチューニングは常に警告状態になります。 ［期限］の値は、アラートスレッショルドに達する日付です。このメッセージは、アラートスレッショルドに達すると［期限切れ］に変わります。オートチューニングが問題なく完了すると、日付がリセットされます。 オートチューニングの一環として、チェックチューニングが実行されます。オートチューニングを実行すると、チェックチューニングの EMF ステータスはリセットされます。ただし、チェックチューニングレポートは作成されません。 デフォルトとは異なる値を設定するには、［アラートスレッショルド（日）］フィールドに、EMF サービス期限メッセージが表示されるまでのリミット（単位：日、1～365）を入力し、［カスタム値に設定］をクリックします。 ［工場出荷時の値に設定］をクリックすると、アラートスレッショルドが工場出荷時の値（7 日）に設定されます。 | チェックチューニングの期限切れ 解決するには、以下の手順を実行します。
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注入カウント | 注入カウントは、メソッドが実行されるたびに 1 ずつ減少します。スレッショルド値が 0 になると、EMF のフラグが立ちます。 カウンターがアラートスレッショルドの 90% に達すると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを超えると、バーの色が赤に変わり、サービス期限メッセージが表示されます。 ［残りの回数］の値は、アラートスレッショルドに達するまでの注入回数です。アラートスレッショルドを超えると、この数は負の値になります。 適切なメンテナンスの実行後、［カウンターリセット］をクリックしてアラートスレッショルドのカウンターをリセットします。 デフォルトとは異なる値を設定するには、［アラートスレッショルド（カウント）］フィールドに、EMF サービス期限メッセージが表示されるまでの注入回数（10～999990、値は 10 の位に四捨五入されます）を入力し、［カスタム値に設定］をクリックします。 ［工場出荷時の値に設定］をクリックすると、アラートスレッショルドが工場出荷時の値（10000）に設定されます。 | 注入カウント期限切れ 解決するには、以下の手順を実行します。
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ダイバータバルブ切替 | ダイバータバルブが［MS へ］または［廃液へ］に切り替わるたびに、値が 1 ずつ減少します。スレッショルド値が 0 になると、EMF のフラグが立ちます。 カウンターがアラートスレッショルドの 90% に達すると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを超えると、バーの色が赤に変わり、サービス期限メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを警告スレッショルドより小さくした場合、警告スレッショルドの縦線は表示されなくなり、ダイバータバルブ切替は常に警告状態になります。 ［残りの回数］の値は、アラートスレッショルドに達するまでのダイバータバルブの切り替え回数です。アラートスレッショルドを超えると、この数は負の値になります。 適切なメンテナンスの実行後、［カウンターリセット］をクリックしてアラートスレッショルドのカウンターをリセットします。 デフォルトとは異なる値を設定するには、［アラートスレッショルド（カウント）］フィールドに、EMF サービス期限メッセージが表示されるまでのダイバータバルブ切替回数（10～999990、値は 10 の位に四捨五入されます）を入力し、［カスタム値に設定］をクリックします。 ［工場出荷時の値に設定］をクリックすると、アラートスレッショルドが工場出荷時の値（10000）に設定されます。 | ダイバータバルブカウント期限切れ 解決するには、以下の手順を実行します。
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ラフポンプ | 測定ソフトウェアは、ラフポンプオイルの交換時期を追跡します。毎日、値が 1 ずつ減っていきます。スレッショルド値が 0 になると、EMF のフラグが立ちます。 アラートスレッショルドを超えるまでの残り日数が 30 日未満になると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを超えると、バーの色が赤に変わり、サービス期限メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを警告スレッショルドより小さくした場合、警告スレッショルドの縦線は表示されなくなり、ラフポンプは常に警告状態になります。 ［期限］の値は、アラートスレッショルドに達する日付です。システムがアラートスレッショルドを超えると、このメッセージは［期限切れ］に変わります。 適切なメンテナンスの実行後、［カウンターリセット］をクリックしてアラートスレッショルドのカウンターをリセットします。 ［アラートスレッショルド（日）］フィールドに、EMF サービス期限メッセージが表示されるまでの日数となるリミット（1～550）を入力します。ラフポンプのアラートスレッショルドを超えた場合、オイル交換を含めたラフポンプのメンテナンスを実行してください。 ［工場出荷時の値に設定］をクリックすると、サービス期限スレッショルドが工場出荷時の値（365）に設定されます。 | ラフポンプオイル期限切れ 解決するには、以下の手順を実行します。
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ガスフィルター | 測定ソフトウェアは、窒素ガスフィルターの交換時期を追跡します。毎日、値が 1 ずつ減っていきます。スレッショルド値が 0 になると、EMF のフラグが立ちます。 アラートスレッショルドを超えるまでの残り日数が 30 日未満になると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを超えると、バー全体の色が赤に変わり、サービス期限メッセージが表示されます。アラートスレッショルドを警告スレッショルドより小さくした場合、警告スレッショルドの縦線は表示されなくなり、ガスフィルターは常に警告状態になります。 ［期限］の値は、アラートスレッショルドに達する日付です。システムがアラートスレッショルドを超えると、このメッセージは［期限切れ］に変わります。 適切なメンテナンスの実行後、［カウンターリセット］をクリックしてアラートスレッショルドのカウンターをリセットします。 ［アラートスレッショルド（日）］フィールドに、EMF サービス期限メッセージが表示されるまでの日数となるリミット（1～730）を入力します。ガスフィルターのアラートスレッショルドを超えた場合、フィルターを交換してください。 ［工場出荷時の値に設定］をクリックすると、アラートスレッショルドが工場出荷時の値（365）に設定されます。 | ガスフィルター期限切れ 解決するには、以下の手順を実行します。
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検出器の状態 | 測定ソフトウェアは、オートチューニングにより決定されたエレクトロンマルチプライア電圧（EMV）を使用して、EM ホーンの残り寿命（パーセント）を概算します。このパーセントは、最小値 1400 V と最大値 2500 V に基づいて求められます。 検出器の状態が残りの寿命 10% 未満に達すると、進捗バーの色が黄色に変わり、警告メッセージが表示されます。 残りの寿命が 0% になると、バー全体の色が赤に変わり、サービス期限メッセージが発行されます。 | 検出器が古くなっています 解決するには、以下の手順を実行します。
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ネブライザーのステータス | 測定ソフトウェアは、キャリブラント溶液からのイオンシグナルまたはチャンバー電流を監視することにより、空のボトルやネブライザーの詰まりを特定します。チューニング中にイオンシグナルが検出されない場合は、EMF のフラグが立ちます。 ステータスの色は赤または緑です。ステータスが赤色の場合、以下のメッセージがシステムログブックに追加されます。
ステータスが緑色の場合、ネブライザーのステータスは正常です。 | ボトルが空 / ネブライザーのつまり 解決するには、以下の手順を実行します。
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キャピラリーのステータス | 測定ソフトウェアは、取り付けられているキャピラリー（またはイオンインジェクタ）の抵抗に基づいて、キャピラリーの問題を特定します。抵抗は、キャピラリ電圧と電流に基づいて計算されます。その後、キャピラリーの正常な抵抗と比較してチェックされます。測定された抵抗が正常な抵抗の 50% より小さい場合は、EMF のフラグが立ちます。 測定ソフトウェアは、低真空測定値が 1.4 torr を下回る場合、キャピラリーが詰まっていると判定します。 ステータスの色は赤、黄、または緑です。ステータスが赤色の場合、以下のメッセージのいずれかがシステムログブックに追加されます。
ステータスが黄色の場合、その項目に警告があります。 ステータスが緑色の場合、キャピラリーのステータスは正常です。 | キャピラリーの問題 解決するには、以下から 1 つまたは複数の項目を実行します。
キャピラリーのつまり 解決するには、以下から 1 つまたは複数の項目を実行します。
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スプレー安定化のステータス | 測定ソフトウェアは、チューニングの一環としてドロップアウト数を特定します。ドロップアウトのパーセント数が 5% より大きい場合、スプレーが不安定であると見なされ、EMF のフラグが立ちます。 ステータスの色は赤または緑です。ステータスが赤色の場合、以下のメッセージがシステムログブックに追加されます。
ステータスが赤色の場合、ネブライザー/ニードルの調整後にオートチューニングを新規に実行して、スプレーの安定性を再評価する必要があります。スプレーの安定性が許容範囲内である場合、オートチューニングの完了後に EMF のフラグはつきません。 ステータスが緑色の場合、スプレー安定化のステータスは正常です。 | スプレーが安定していません 解決するには、以下から 1 つまたは複数の項目を実行します。
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