智氢洁离子源系统处理期间,会将少量氢气引入离子源的离子体,与此同时灯丝会发射电子:会生成可反应的含氢物质。每次运行此过程时,会根据污染的情况和性质清除离子源中的污染物。因此:
尽管采用的是智氢洁离子源流程,但随着时间的推移,会在离子源离子光学器件上堆积少量活性污染物,所以需要手动清洁离子源。小心应用智氢洁离子源流程并使用相应参数,该手动清洁的频率可能会降低很多。