如果允许扩散泵在没有色谱柱（载气）流入真空系统的情况下运行，则来自扩散泵液的蒸汽可能会漂移到歧管真空系统中。更严重的是，液体可能会通过突然或者不适当的放空真空系统，再流回歧管真空系统中。如果扩散泵回流，则经常会在 m/z 446 处看到显著的峰，且质谱基线将在许多质量处显示为小峰。也可能会在歧管真空系统中的部件上看到液膜。