高真空泵问题

扩散泵

如果 MSD 配有扩散泵，则表示扩散泵温度过高。

涡轮分子泵

如果 MSD 配有涡轮分子泵，则表示涡轮控制器无法在预设时间内达到全速的 50% 或出现其他故障。