该消息意味着其中一个加热区的温度上升速度比应有的速度慢,或加热区无法在固定时间内达到其设定温度。导致该问题的原因如下:
放空 MSD。
打开歧管真空系统。
警示!只要打开歧管真空系统,特别是在质量过滤器(四极杆)接点附近操作时,请务必小心静电放电 (ESD)。这些接点会将有害的静电放电传递到侧板上的敏感组件。
检查离子源和质量过滤器加热器的加热器配线。确保加热器配线与馈通板上的正确针脚牢固连接。
如果加热器配线连接正确,请检查加热器本身,查看其是否存在故障。
有关放空 MSD 和打开歧管真空系统的说明,请参见 MSD 维护文档。
放空 MSD。
打开歧管真空系统。
警示!只要打开歧管真空系统,特别是在质量过滤器(四极杆)接点附近操作时,请务必小心静电放电 (ESD)。这些接点会将有害的静电放电传递到侧板上的敏感组件。
将加热器配线与馈通板的连接断开。针对每个加热器,使用欧姆计来检查加热器连续性。如果欧姆计显示加热器开路(阻值无穷大),请更换加热器组件。
有关放空 MSD、打开歧管真空系统和更换加热器组件的说明,请参见 MSD 维护文档。
如果温度传感器连接不牢固,则会显示温度低于加热区的实际温度。因此,温度控制电子元件会继续驱动加热器柱芯,从而导致加热区过热。如果传感器过松,则温度上升会非常缓慢,或加热区无法达到其设定温度,随即会出现超时故障。
放空 MSD。
打开歧管真空系统。
检查离子源温度传感器。请确保它已经牢固连接。
警示!只要打开歧管真空系统,特别是在质量过滤器(四极杆)接点附近操作时,请务必小心静电放电 (ESD)。这些接点会将有害的静电放电传递到侧板上的敏感组件。
检查质量过滤器温度传感器。请确保它已经牢固连接。
有关放空 MSD 和打开歧管真空系统的说明,请参见 MSD 维护文档。