試薬ガス フロー調査は、機器のチューニングを補助するために実行します。試薬ガス フロー調査で選択した範囲全体の流量を確認することで、選択した質量比に達するのに必要な試薬ガス流量の % を決定できます。
調査をチューニング前に実行すると、チューニングプロセスを高速化できます。また、追加の調整を行うためにチューニング後に実行することもできます。
メソッドを作成するか読み込みます。
チューニングコントロールを要求します。
［チューニング］ > ［フロー調査］を選択します。
機器が初期のガス流量 % として使用する［開始フロー（%）］を入力します。デフォルト値は、現在のチューニングファイルに入力されたガス流量 % より 5% 少ない値となります。
機器が最終的なガス流量 % として使用する［終了フロー（%）］を入力します。デフォルト値は、現在のチューニングファイルに入力されたガス流量 % より 5% 多い値となります。
ターゲット質量比を入力するか、現在のチューニングファイルからのデフォルト値を使用します。
［開始］をクリックします。
［フロー調査データ取り込み］に、［開始フロー（%）］から［終了フロー（%）］の範囲内のすべての % での質量比のプロットが表示されます。
任意のポイントで調査を終了するには、［停止］をクリックします。
［フロー調査データ取り込み］カーソルをプロットに沿って移動して、プロットをクリックすると希望の流量を指定できます。［流量］と［比］をクリックして選択します。
［流量］値は選択した流量に最も近い整数に設定されます。
［比］の値は小数第 2 位まで設定されます。
表示されたパラメータでチューニングファイルを更新するには、［適用］をクリックします。