高真空ポンプに問題がある

ディフュージョンポンプ

MSD にディフュージョンポンプを使用している場合、ディフュージョンポンプが熱くなりすぎたことを意味します。

ターボ分子ポンプ

MSD にターボ分子ポンプを使用している場合、設定された時間内にターボポンプのコントローラがフルスピードの 50% に達っしなかった、または別の障害が発生したことを意味します。