ターボ分子ポンプ
Foreline pump is not working correctly (フォアラインポンプが正しく作動していません)
フォアラインポンプが正しく作動していないと、ターボ分子ポンプが通常の動作速度に達することができない可能性があります。フォアライン圧力は、ターボ分子ポンプが装備されたMSDでは測定されません。フォアラインの圧力が高すぎるも参照してください。
High vacuum signal cable is not connected correctly (turbo pump) (高真空シグナルケーブルが正しく接続されていません(ターボポンプ))
MSDの背面を調べます。高真空シグナルケーブル(HIVAC SIGNAL)がMSDの背面パネルとターボ分子ポンプコントローラにしっかりと接続されていることを確認します。
Turbo pump controller is not working correctly (ターボポンプコントローラが正しく作動していません)
弊社カスタマコンタクトセンターにお問い合わせください。
Turbo pump is not working correctly (ターボポンプが正しく作動していません)
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MSD 電子機器が正しく動作しない
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