これは、三極管ゲージをオンにしようとしたとき、またはすでに三極管ゲージがオンになっているときに発生し、真空マニフォールド内の圧力が 8 x 10^-3 Torr を超えていることを示します。圧力がこのレベルを超えていると、三極管ゲージはオンになりません。圧力が 8 x 10^-3 Torr を超えると、自動的にオフになります。
電源電圧がゲージコントローラの許容範囲内に入っていることを確認します。
警告!電源電圧のチェックは資格を持つ電気技師だけが行なってください。
これは、オンカラム注入を行なっている場合に、日常的に発生する可能性があります。溶媒ピークがマニフォールド圧力を 8 x 10^-3 Torr より高くまで上昇させています。この問題が繰り返し発生する場合は、三極管ゲージを常にオフにしておくのが最もよい対処法方です。
最近 MSD をオンにした場合は、システムは真空排気に時間がかかります。20 分経過しても三極管ゲージがオンにならない場合は、他の原因を調べます。
ケーブルが三極管ゲージおよびゲージコントローラとしっかり接続されていることを確認します。
警告!ゲージコントローラがオンになっている間や、MSD が真空になっている間に三極管ゲージにケーブルの抜き差しをすることはしないでください。
考えられるその他の原因が当てはまらない場合は、ケーブルを交換してみてください。
ディフュージョンポンプオイルのレベルが低いと、ポンプは正しく作動しません。液のレベルを調べてください。必要に応じて、ディフュージョンポンプオイルを交換します。
ディフュージョンポンプオイルをチェックし交換する方法については、MSD メンテナンスマニュアルを参照してください。
ゲージコントローラの電源を切ります。
MSD を大気解放します。
三極管ゲージチューブからケーブルを外します。
チューブを取り外して、点検します。フィラメントが破損している場合は、チューブを交換します。
三極管ゲージチューブを交換する方法については、『MSD メンテナンスマニュアル』を参照してください。
電源電圧がゲージコントローラの許容範囲内に入っていることを確認します。
警告!電源電圧のチェックは資格を持つ電気技師だけが行なってください。