圧力に関する現象

このセクションでは、圧力の表示値として異常な値が示される場合とその原因について説明します。このセクションの現象は、標準的な圧力に基づいて記載されています。一般的なカラム流量(0.1~2.0ml/分)の場合、フォアライン圧力は約20~100 mTorrになります。真空マニフォールドの圧力は、約 1 x 10^-6 ~ 1.4 x 10^-4 Torr になります。これらの圧力値は機器によって大きく異なる場合があるため、所定のキャリアガス流量における機器の一般的な圧力値を把握しておくことがきわめて重要になります。

ここに記載されるファアライン圧力は、ディフュージョンポンプが装備されたシステムでのみ測定できます。ターボ分子ポンプは、その速度に基づいて制御され、フォアライン圧力ゲージを備えていません。真空マニフォールドの圧力は、システムにオプションのゲージコントロールが装備されている場合にのみ測定できます。